در سال 1960 ماشین های اندازه گیری مختصات به عنوان ابزارهای قوی اندازه گیری مطرح شدند. با ظهور میکروپروسسورها سازندگان به قدرت واقعی ماشین های اندازه گیری مختصات پی بردند. با استفاده از این ماشین ها می توانید مختصات سه بعدی کامل یک قطعه را به دست آورید. وقتی که یک کامپیوتر به ماشین اندازه گیری مختصات وصل شود می تواند به طور اتوماتیک اندازه گیری های پیچیده را انجام داده و آن را با مشخصه های مورد انتظار از قطعه کار مقایسه کنید. به جای انجام اندازه گیری با وسایل اندازه گیری تک محوره (میکرومترها، کول ...