پاورپوینت رسوب دهی شیمیایی بخار به کمک پلاسما (PECVD)

پاورپوینت رسوب دهی شیمیایی بخار به کمک پلاسما (PECVD)   17اسلاید   PECVD •در سطح یک بستر (معمولا داغ) و  در محیط گازی واکنش دهنده‌ها بر اساس ترموشیمی ( Thermochemical reactions ) اتفاق می‌افتد     •به‌طور معمول راکتورهای تجاری PECVD به وسیله فرکانس رادیویی ( Radio Frequency- RF ) عمل می‌کنند، و در نهایت یک پلاسما با فشار پایین ایجاد می‌نمایند. پلاسما بر اثر یونیزاسیون جزئی ( Fractional Ionization ) بوجود می‌آید و از این رو ...